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余风量(气流追踪)控制方法

洁净室的送风量与排风量之间保持一定的风量差(称为余风量),必然会导致洁净室产生一定的压差。余风量(气流追踪)控制即控制系统实时测量风量(送风和排风量)变化,通过调节送风量或排风量,动态的达到相应的风量平衡,使送风量和排风量之间保持恒定的风量差,从而维持恒定的压差。其基本原理见图2,控制系统利用气流测量装置实时测量送风量和排风量,排风量可以在排风主管上测量,或如图中在各个单独的排风上进行测量并求和,无尘净化车间控制器据此调节送风量,使其追踪排风量的变化,保持一定的余风量,从而达到所希望的压差值。可以看出余风量控制是一个开环控制系统。


在这里,余风量就是达到所希望压差时渗人或渗出洁净室的空气流量(单位为CFM )。负的余风量即总排风量大于总送风量,它将导致负压的产生,而正的余风量则是总送风量大于总排风量,它将导致正压产生。


在图2中的风量等式中,余风量是定值。但在实际情况下,喷涂涂装设备它是变化的,例如当流量传感器发生偏移时,实际的余风量也将发生变化。因此,应该考虑选择足够大的余风量来弥补由于围护结构气密程度、风管泄漏以及流量测量装置精度误差等造成的影响。


上述的两种压差控制方法,在实际运用中都必须按照预定的频率进行验证。例如对余风量控制,每半年就应该进行对设定的余风量进行校正。


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