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无尘车间地面

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无尘车间地面

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无尘车间地面

随着空气洁净度要求的提高,该过程对温度和湿度的要求越来越高,必须达到一定的温湿度水平。例如,在用于大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求玻璃和作为掩模材料的硅晶片之间的热膨胀系数的差异越来越小。

洁净室的温度和湿度通常根据您的加工要求确定。在加工技术条件下,涂装悬挂输送设备首选是考虑人的舒适度。

直径为100微米,温度上升1度的硅晶片导致0.24微米的线性膨胀,因此温度必须恒定在±0.1度。同时,湿度值一般较低,所以人们都在出汗。该产品将受到污染,特别是在半导体车间,这样的车间不应大于25度。如果湿度超过问题引起的更多。当相对湿度超过50%时,冷凝水管壁上会形成结露,如果发生在精密装置或电路中,可能会产生不同的问题。

相对湿度更容易生锈一半。然而,对于大部分洁净空间,希望防止外部污染,喷涂悬挂输送设备并且必须保持内部压力大于外部压力。压差的维护通常应符合以下原则:

1.具有较高清洁度的空间的压力需要超过具有较低清洁度的空间的压力。

2.洁净室内的压力高于非洁净空间的压力。压力间隙的维持取决于新鲜空气的量,百级无尘净化车间新鲜空气量应该能够补充在该压力差下间隙中缺少的风量。因此,压力差的含义是当气流的泄漏(或渗透)通过洁净室中的各种间隙时的阻碍。

3.连接的洁净室中的门必须打开到相对较高的清洁水平。

对于湍流洁净室,由于它主要依靠空气的稀释能力来减缓室内污染的程度,主体是采取通风量的问题,而不是直接应用速度的概念,但对房间内的气体流量也有相当大的需求。

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