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不锈钢风淋室工程配套

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不锈钢风淋室工程配套

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不锈钢风淋室工程配套

洁净空间的温度和湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求时应考虑人体舒适度。随着空气洁净度要求的提高,无尘车间净化板该过程趋向于对温度和湿度有更严格的要求。

特定过程的温度要求将在后面列举,但作为一般原理,随着加工精度变得越来越精细,对温度波动范围的要求越来越小。例如,在用于大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,要求玻璃和作为掩模材料的硅晶片之间的热膨胀系数的差异越来越小。直径为100微米,不锈钢风淋室安装温度上升1度的硅晶片导致0.24um的线性膨胀,因此它必须具有±0.1度的恒定温度,并且湿度值通常较低,因为在人们出汗之后,该产品将受到污染,尤其是一个害怕钠的半导体车间。这个工作坊不应超过25度。

湿度过大会导致更多问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会形成冷凝水。如果它发生在精密设备或电路中,将导致各种事故。相对湿度为50%时容易生锈。另外,当湿度太高时,附着在硅晶片表面上的灰尘被空气中的水分子化学吸附在表面上,难以除去。相对湿度越高,全自动涂装生产线去除越困难,但当相对湿度低于30%时,由于静电力,颗粒也容易吸附到表面,并且大量半导体器件易于击穿。晶圆生产的最佳温度范围为35-45%。


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